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Hoffnung für den Mikroelektronikstandort Dresden

In die ehemaligen Räumlichkeiten des insolventen Chip­herstellers Qimonda im Dresdner Norden zieht ab Januar ein neues Fraunhofer-Zentrum ein. Im „All Silicon System Integration Dresden", kurz ASSID, sollen sogenannte 3D-Silizium-Systeme, also Halbleiterprodukte mit dreidimensionalen Strukturen, entwickelt werden. Die dritte Dimension ermöglicht es, die Packungsdichte von elektronischen Bauelementen in Schaltkreisen weiter zu erhöhen.
„Ein in dieser Form existierendes Forschungszentrum der 3D-Silizium-Systemintegration im Verbund mit innovativen Prozesstechnologien der Mikroelektronik ist international einmalig. Für Dresden und Sachsen bietet das neue Zentrum die Chance, mit der Forschung zu dreidimensionalen Chips in die Weltspitze aufzurücken", stellte Wissenschaftsministerin Sabine von Schorlemer zufrieden fest. Das dem Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) Berlin zugeordnete ASSID wird in den nächsten Jahren bis zu 36 Mitarbeiter beschäftigen. Schon Anfang des Jahres hatte das Sächsische Kabinett dem Aufbau und der Finanzierung des neuen Instituts zugestimmt, um mit der Technologieentwicklung Schritt zu halten. Für die Entscheidung zur Ansiedlung des ASSID-Zentrums in Dresden dürfte die hervorragende Infrastruktur der Hochschulen und außeruniversitären Forschungseinrichtungen, die Nähe zu großen Industriepartnern sowie zu vielen Unternehmen des „Silicon Saxony"- Netzwerkes ausschlaggebend gewesen sein. „Die Weiterentwicklung vorhandener moderner Halbleiterprodukte zu neuen 3-dimensionalen Strukturen gilt heute als bedeutende strategische Schlüsseltechnologie", hatte die damalige Wissenschaftsministerin Eva-Maria Stange erkannt. Profitieren werden auch kleine und mittelständische Unternehmen durch die Bereitstellung und Entwicklung notwendiger Geräte, Anlagen und Verfahren.
Simone Pflug

Kosten
Zur Finanzierung der Geräte­erstausstattung stellen Bund, Europäische Union und Freistaat Sachsen insgesamt 49,9 Millionen Euro zur Verfügung.
Der Anteil Sachsens beträgt einschließlich der Mittel aus dem Europäischen Fonds für regionale Entwicklung 41,2 Millionen Euro. Zusätzlich übernimmt der Freistaat die Finanzierung der Betriebskosten bis zum Jahr 2013 in Höhe von 7,3 Millionen Euro.